Описание продукции
Негорючий, токсичный, бесцветный или желтый газ
без запаха с плотностью 13 кг/м3. Вызывает
коррозию, в 11 раз тяжелее воздуха.
Внимание!
Газ токсичен, ПКД = 0,5 мг/м³ (в пересчёте на
фтороводород HF)
Область применения
Используется
в полупроводниковой промышленности для формирования вольфрамовых пленок методом химического осаждения из паровой фазы
| Брендовое название | SILTRON® WF6(ФТОРИД ВОЛЬФРАМА 5.5) |
| Другие наименования | Гексафторид вольфрама, шестифтористый вольфрам |
| Химическая формула | WF6 |
| № CAS | 7783-82-6 |
| Код ТН ВЭД | 2825904000 |
| Упаковка | 44-литровые баллоны из нержавеющей стали |
| Транспортировка | Всеми видами транспорта, согласно действующим правилам перевозок опасных грузов. |
| Гарантийный срок годности: | 12 месяцев с даты производства при условии хранения продукции в герметически закрытой спецтаре под слоем инертного газа без доступа атмосферного воздуха и контакта с влагой. |
| ПОКАЗАТЕЛИ | ЕДИНИЦЫ ИЗМЕРЕНИЯ | СОДЕРЖАНИЕ |
| Содержание O2+Ar | ppm | 0.5 |
| Содержание N2 | ppm | 1 |
| Содержание CO2 | ppm | 1 |
| Содержание CO | ppm | 0.3 |
| Содержание CF4 | ppm | 0.3 |
| Кислотность HF | ppm | 10 |
| Содержание SF6 | ppm | 0.5 |
| Содержание SiF4 | ppm | 0.5 |
| Содержание Mo | ppm | 5 |
| Содержание Ni | ppm | 50 |
| Содержание Fe | ppm | 10 |
| Содержание Ca | ppm | 10 |
| Содержание Cd | ppm | 1 |
| Содержание K | ppm | 5 |
| Содержание Cu | ppm | 1 |
| Содержание Al | ppm | 3 |
| Содержание As | ppm | 1 |
| Содержание Cr | ppm | 5 |
| Содержание Na | ppm | 1 |
| Содержание U | ppm | 0.1 |
| одержание Mn | ppm | 1 |
| Содержание Mg | ppm | 1 |