SILTRON® WF6 (ФТОРИД ВОЛЬФРАМА 5.5)

Негорючий, токсичный, бесцветный или желтый газ
без запаха с плотностью 13 кг/м3. Вызывает
коррозию, в 11 раз тяжелее воздуха.

Газ токсичен, ПКД = 0,5 мг/м³ (в пересчёте на
фтороводород HF)

Используется
в полупроводниковой промышленности для формирования вольфрамовых пленок методом химического осаждения из паровой фазы


Брендовое
название
SILTRON® WF6(ФТОРИД ВОЛЬФРАМА 5.5)
Другие
наименования
Гексафторид вольфрама, шестифтористый вольфрам
Химическая
формула
WF6
№ CAS7783-82-6
Код ТН ВЭД2825904000
Упаковка44-литровые баллоны из нержавеющей стали
ТранспортировкаВсеми видами транспорта, согласно действующим
правилам перевозок опасных грузов.
Гарантийный срок годности:12 месяцев с даты производства при условии
хранения продукции в герметически закрытой
спецтаре под слоем инертного газа без доступа
атмосферного воздуха и контакта с влагой.
ПОКАЗАТЕЛИЕДИНИЦЫ ИЗМЕРЕНИЯСОДЕРЖАНИЕ
Содержание O2+Arppm0.5
Содержание N2ppm1
Содержание CO2ppm1
Содержание COppm0.3
Содержание CF4ppm0.3
Кислотность HFppm10
Содержание SF6ppm0.5
Содержание SiF4ppm0.5
Содержание Moppm5
Содержание Nippm50
Содержание Feppm10
Содержание Cappm10
Содержание Cdppm1
Содержание Kppm5
Содержание Cuppm1
Содержание Alppm3
Содержание Asppm1
Содержание Crppm5
Содержание Nappm1
Содержание Uppm0.1
одержание Mnppm1
Содержание Mgppm1