Описание продукции
Тетрахлорид кремния при обычных условиях представляет собой бесцветную негорючую взрывобезопасную жидкость, имеющую резкий запах и дымящуюся на воздухе, с плотностью при 20°С 1,487 г/см3, кипящую при +57°С и замерзающую при -67°С, давление пара при 20°C 25,9 кПа, температура самовоспламенения: > 650°C
Внимание!
Тетрахлорид кремния является опасным веществом.
Классификация ООН: UN1818, класс опасности: 8, группа
упаковки II
Область применения
Продукция предназначена только для промышленного применения; может использоваться для производства
поликристаллического и, полупроводникового кремния,
эпитаксиальных кремниевых структур; при производстве
оптического волокна, как сшивающий агент для бутадиен
стирольного каучука (SBR).
| Брендовое название | SILTRON®TCS-IV(ТЕТРАХЛОРИД КРЕМНИЯ 4.0 и 6.0) |
| Другие наименования | кремний четыреххлористый, тетрахлормоносилан |
| Химическая формула | SiCl4 |
| № CAS | 110026-04-7 |
| Код ТН ВЭД | 2812109900 |
| Упаковка | 200-литровые ёмкости из нержавеющей стали с мембранными вентилями, максимально разрешенное рабочее давление 0.8 MPa (8 bar) |
| Транспортировка | Всеми видами транспорта, согласно действующим правилам перевозок опасных грузов. |
| Гарантийный срок годности: | 12 месяцев с даты производства при условии хранения продукции в герметически закрытой спецтаре под слоем инертного газа без доступа атмосферного воздуха и контакта с влагой. |
| ПОКАЗАТЕЛИ | МЕТОД АНАЛИЗА | ЕДИНИЦЫ ИЗМЕРЕНИЯ | СОДЕРЖАНИЕ |
| Содержание силанов, мин. | % | 99,999 | |
| Содержание SiCl4, мин. | SOP 0218 | % | 99,99 |
| Содержание алюминия (Al), макс. | ICPMS | ppb | 0,1 |
| Содержание кобальт (Co), макс. | ICPMS | ppb | 0,1 |
| Содержание хрома (Cr), макс. | ICPMS | ppb | 0,5 |
| Содержание меди (Cu), макс. | ICPMS | ppb | 0,1 |
| Содержание железа (Fe), макс. | ICPMS | ppb | 1,0 |
| Содержание никеля (Ni), макс. | ICPMS | ppb | 1,0 |
| Эпитаксиальное сопротивление, мин | SEMI MF 43 | Ω•cм | 100 |