SILTRON® TCS-III (ТРИХЛОРСИЛАН 4.0)

Описание продукции

Трихлорсилан представляет собой бесцветную прозрачную горючую, восокотоксичную и коррозионную жидкость с резким удушливым запахом, дымящуюся на воздухе, плотность при 20°С 1,3417 г/см3, кипение при +31,8°С, давление пара при 20°C 0,7 бар. Бурно взаимодействует с водой с хлористого водорода

Внимание!

Трихлорсилан является крайне опасным веществом:
Классификация ООН: UN1295, класс опасности: 4.3 (3+8);
группа упаковки I.

Область применения

Продукция предназначена только для профессионального
промышленного применения; может использоваться для производства поликристаллического кремния и эпитаксиальных кремниевых структур.

Брендовое название	SILTRON®TCS-III(ТРИХЛОРСИЛАН 4.0)
Другие наименования	Trichlorosilane, силикохлороформ
Химическая формула	SiHCl₃
№ CAS	10025-78-2
Код ТН ВЭД	2853008000
Упаковка	200-литровые ёмкости из нержавеющей стали с мембранными вентилями, максимально разрешенное рабочее давление 0.8 Mpa (8 bar)
Транспортировка	Всеми видами транспорта, согласно действующим правилам перевозок опасных грузов.
Гарантийный срок годности:	12 месяцев с даты производства при условии хранения продукции в герметически закрытой спецтаре под слоем инертного газа без доступа атмосферного воздуха и контакта с влагой.

ПОКАЗАТЕЛИ	МЕТОД АНАЛИЗА	ЕДИНИЦЫ ИЗМЕРЕНИЯ	СОДЕРЖАНИЕ
Содержание SiHCl₃, мин.		%	≥ 99,99
Содержание моносилана(SiH₄₎, макс		ppm	≤ 100
Содержание дихлорсилана, макс.		ppm	≤ 100
Содержание тетрахлорсилана	SOP 0218	ppm	≤ 100
Содержание акцепторов (B+Al)	ICPMS	рpb	≤ 0,05
Содержание доноров (P+As+Sb)	ICPMS	рpb	≤ 0,20
Содержание бора (B)	ICPMS	рpb	≤ 0,06
Содержание углерода (С)		рpm	Не определено (≤ 0,5)
Содержание железа (Fe)	ICPMS	рpb	≤ 2,0
Содержание меди (Cu)	ICPMS	рpb	≤ 2,0
Содержание цинка (Zn)	ICPMS	рpb	≤ 2,0
Содержание алюминия (Al)		рpb	≤ 0,003
Содержание никеля (Ni)	ICPMS	рpb	≤ 2,0
Эпитаксиальное сопротивление, мин.	SEMI MF 43	Ω•cм	≥ 1000