Описание продукции
Бинарное неорганическое соединение кремния и
водорода. Бесцветный газ с неприятным запахом,
самовоспламеняется на воздухе, реагирует
с водой, ядовит
Внимание!
Класс опасности ООН: 2.1
Область применения
Для реакций органического синтеза в качестве
источника чистого кремния, который используется
в микроэлектронной промышленности. Моносилан применяется в микроэлектронике, а также в производстве
тонкопленочных и фотопреобразователей, кристаллических ЖК-экранов, технологических элементов интегральных схем, подложек.
| Брендовое название | SILTRON®SiH4 (МОНОСИЛАН 6.0) |
| Другие наименования | Силан, водородистый кремний, гидрид кремния |
| Химическая формула | SiH4 |
| № CAS | 7803-62-5 |
| Код ТН ВЭД | 2804690000 |
| Упаковка | 47-литровые баллоны из нержавеющей стали соответствующие требованиям ТР ТС 032 |
| Транспортировка | Всеми видами транспорта, согласно действующим правилам перевозок опасных грузов |
| Гарантийный срок годности: | 12 месяцев с даты производства |
| ПОКАЗАТЕЛИ | ЕДИНИЦЫ ИЗМЕРЕНИЯ | СОДЕРЖАНИЕ |
| Моносилан SiH4 | % | 99,9999 |
| Содержание CO2+CO | ppmv | 0.1 |
| Содержание H2O | ppmv | 0.5 |
| Содержание N2 | ppmv | 0.5 |
| Содержание O2+Аг | ppmv | 0.05 |
| Содержание CH4 | ppmv | 0.05 |
| Содержание C2-C4 | ppmv | 0.1 |
| Содержание H2 | ppmv | 20 |
| Содержание Si2H6 | ppmv | 0.5 |
| Содержание SiH3Cl | ppmv | 0.2 |
| Содержание AL | ppb | 0.2 |
| Содержание Sb | ppb | 0.2 |
| Содержание As | ppb | 0.2 |
| Содержание Ga | ppb | 0.2 |
| Содержание Cr | ppb | 0.2 |
| Содержание P | ppb | 0.2 |
| Содержание B | ppb | 0.2 |
| Содержание Fe | ppb | 0.2 |
| Содержание Cu | ppb | 0.2 |
| Содержание Ni | pb | 0.2 |
| Содержание Zn | ppb | 0.2 |