Описание продукции
Бинарное неорганическое соединение кремния и
водорода. Бесцветный газ с неприятным запахом,
самовоспламеняется на воздухе, реагирует
с водой, ядовит
Внимание!
Класс опасности: 358; Классификация в
соответствии с Регламентом (ЕС) No 1272/2008
[CLP]; Легковоспламеняющиеся газы. Категория 1
Область применения
Для реакций органического синтеза в качестве
источника чистого кремния, который используется
в микроэлектронной промышленности. Моносилан применяется в микроэлектронике, а также в производстве
тонкопленочных и фотопреобразователей, кристаллических ЖК-экранов, технологических элементов интегральных схем, подложек.
| Брендовое название | SILTRON®SiH4 (МОНОСИЛАН 4.8) |
| Другие наименования | Силан, водородистый кремний, гидрид кремния |
| Химическая формула | SiH4 |
| № CAS | 7803-62-5 |
| Код ТН ВЭД | 2804690000 |
| Упаковка | 47-литровые баллоны из нержавеющей стали соответствующие требованиям ТР ТС 032 |
| Транспортировка | Всеми видами транспорта, согласно действующим правилам перевозок опасных грузов |
| Гарантийный срок годности: | 12 месяцев с даты производства |
| ПОКАЗАТЕЛИ | ЕДИНИЦЫ ИЗМЕРЕНИЯ | СОДЕРЖАНИЕ |
| Моносилан SiH4 | % | 99.99 |
| Содержание Н2 | ppmv | <20.0 |
| Содержание N2 | ppmv | <0.5 |
| Содержание O2+Аг | ppmv | <0.05 |
| Содержание СО | ppmv | <0.05 |
| Кислород+Аргон (О2+Ar) | ppmv | <0.05 |
| Содержание СО2 | ppmv | <0.05 |
| Содержание СН4 | ppmv | <0.05 |
| Общее количество хлорсиланов | ppmv | < 0.01 |
| Disilane | ppmv | < 0.3 |
| ТНС (Sum of С2-С4) | ppmv | < 0.1 |
| Содержание Н2O | ppmv | < 0.5 |