Описание продукции
Бесцветная прозрачная жидкость. Страна происхождения РФ
Внимание!
Токсикологический класс опасности вещества III Код
Область применения
Продукция предназначена только для профессионального
промышленного применения; может использоваться для производства поликристаллического кремния и эпитаксиальных кремниевых структур.
| Брендовое название | SILTRON®C6H3SiCl3(ФИНИЛХЛОРСИЛАН) |
| Другие наименования | Trichlorosilane, силикохлороформ |
| Химическая формула | SiHCl3 |
| № CAS | 98-13-5 |
| ООН | 1804 |
| Упаковка | 200-литровые ёмкости из нержавеющей стали с мембранными вентилями, максимально разрешенное рабочее давление 0.8 Mpa (8 bar) |
| Транспортировка | Всеми видами транспорта, согласно действующим правилам перевозок опасных грузов. |
| Гарантийный срок годности: | 12 месяцев с даты производства при условии хранения продукции в герметически закрытой спецтаре под слоем инертного газа без доступа атмосферного воздуха и контакта с влагой. |
| ПОКАЗАТЕЛИ | МЕТОД АНАЛИЗА | ЕДИНИЦЫ ИЗМЕРЕНИЯ | СОДЕРЖАНИЕ |
| 1 | Внешний вид | % | ≥ 99,99 |
| 2 | Массовая доля фенилтрихлорсилана, %, не менее | ppm | ≤ 100 |
| 3 | Массовая доля примесей, %, не более в том числе: | ppm | 0,7 |
| дифенила, %, не более | ppm | 0,15 | |
| суммарная массовая доля водородсодержащих примесей (трихлорсилана, фенилдихлорсилана), %, не более | рpb | 0,2 |