Моносилан Siltron 6.0N (99,9999%)
- Брендовое название
- Моносилан Siltron 6.0N (99,9999%)
- Другие наименования
- Силан, тетрагидрид кремния
- Химическая формула
- SiH4
- № CAS
- 7803-62-5
- Код ТН ВЭД
- 2804690000
- Объем баллона
- 47 л
- Номер партии
- 24111501
Продукция соответствует параметрам указанной ниже спецификации:
| Показатель | Норматив | Результат проверки |
|---|---|---|
| Объемная доля моносилана (SiH₄), %, не менее | 99,9999 | > 99,9999 |
| Объемная доля водорода (H₂), ppm, не более | 20 | < 20 |
| Объемная доля азота (N₂), ppm, не более | 0,5 | < 0,5 |
| Объемная доля кислорода (O₂) + аргона (Ar), ppm, не более | 0,05 | < 0,05 |
| Объемная доля монооксида углерода (CO), ppm, не более | 0,05 | < 0,05 |
| Объемная доля диоксида углерода (CO₂), ppm, не более | 0,05 | < 0,05 |
| Объемная доля метана (CH₄), ppm, не более | 0,05 | < 0,05 |
| Объемная доля общих хлорсиланов, ppm, не более | 0,1 | < 0,1 |
| Объемная доля дисилана (Si₂H₆), ppm, не более | 0,3 | < 0,3 |
| Объемная доля углеводородов (сумма C₂–C₄), ppm, не более | 0,1 | < 0,1 |
| Объемная доля воды (H₂O), ppm, не более | 0,5 | < 0,5 |
Бесцветный газ с едким, отталкивающим запахом
Класс опасности при транспортировке 2.1, номер ООН UN2203
В качестве прекурсора кремния для выращивания поликристаллического и эпитаксиального (монокристаллического) кремния, диоксида кремния, нитрида кремния и легирования арсенида галлия в микроэлектронике, фотонике и полупроводниковой промышленности, а также для научно-исследовательских и других производственных целей.
Баллоны должны храниться в вертикальном положении и быть надежно закреплены для предотвращения падения. Запорная арматура баллона должна быть закрыта защитным колпаком. Хранить в сухом, хорошо вентилируемом помещении, оснащенном принудительной приточно-вытяжной вентиляцией.
