← Продукция
Гексафторбутадиен Siltron 4.0N (99,99%)
- Брендовое название
- Гексафторбутадиен Siltron 4.0N (99,99%)
- Другие наименования
- гексафтор-1,3-бутадиен, 1,1,2,3,4,4-Гексафтор-1,3-бутадиен, гексафторбутадиен
- Химическая формула
- C4F6
- № CAS
- 685-63-2
- Код ТН ВЭД
- 2903399000
- Объем баллона
- 10 л
Продукция соответствует параметрам указанной ниже спецификации:
| Наименование показателей | Норма | Фактический показатель |
|---|---|---|
| Объемная доля гексафторбутадиена (C4F6), %, не менее | 99,99 | > 99,99 |
| Объемная доля азота (N2), ррm, не более | 40,0 | < 20,0 |
| Объемная доля кислород (О2) + аргон (Ar), ррm, не более | 10,0 | < 5,0 |
| Объемная доля диоксида углерода (СО2), ррm, не более | 20,0 | < 20,0 |
| Объемная доля других фторуглеродов, ррm, не более | 200 | < 100 |
| Объемная доля изопропилового спирта (IPA), ррm, не более | 5,0 | < 3 |
| Объемная доля воды (Н2О), ррm, не более | 5,0 | < 0,5 |
| Объемная доля кислот (в пересчете на HF), ррm, не более | 5,0 | < 0,05 |
Бесцветный сжиженный газ без запаха
Класс опасности при транспортировке 2.1, 2.3, номер ООН 3160
В микроэлектронной промышленности для плазмохимического травления.
Баллоны должны храниться в вертикальном положении и быть надежно закреплены для предотвращения падения.
Запорная арматура баллона должна быть закрыта защитным колпаком. Помещение должно быть хорошо вентилируемым, преимущественно с естественной приточно-вытяжной вентиляцией. Баллоны должны быть защищены от нагрева.
Транспортировка
Всеми видами транспорта, согласно действующим правилам перевозок опасных грузов.
Гарантийный срок хранения
12 месяцев с даты производства.