← Продукция

Тетрафторид кремния Siltron 5.0N

Брендовое название: Тетрафторид кремния Siltron 5.0N (99,999%)
Другие наименования: Фторид кремния (IV), кремний четырёхфтористый, тетрафторсилан
Химическая формула: SiF4
№ CAS: 7783-61-1
Код ТН ВЭД: 2812 90 000 0

Продукция соответствует параметрам указанной ниже спецификации:

Наименование показателей	Норма	Фактический показатель
Объемная доля тетрафторида кремния (SiF₄), об. %, не менее	99,999	> 99,999
Объемная доля водорода (H₂), ppm, не более	1,00	0,65
Объемная доля кислорода (O₂) + аргона (Ar), ppm, не более	1,00	0,04
Объемная доля азота (N₂), ppm, не более	1,00	0,49
Объемная доля метана (CH₄), ppm, не более	1,00	< 0,01
Объемная доля монооксида углерода (CO), ppm, не более	0,10	< 0,01
Объемная доля диоксида углерода (CO₂), ppm, не более	0,30	< 0,01
Объемная доля сероводорода (H₂S), ppm, не более	0,10	< 0,01
Объемная доля диоксида серы (SO₂), ppm, не более	0,10	< 0,01
Массовая доля металлов, ppm, не более	1,00	< 1,00
Общее количество примесей, ppm, не более	10	1,18

Бесцветный газ с резким, удушающим запахом.

Класс опасности при транспортировке 2.3, дополнительная опасность 8, номер ООН 1859
Для плазменного травления, ионной имплантации, осаждения фторированного диоксида кремния в микроэлектронной и полупроводниковой промышленности, для получения кремнефтористоводородной кислоты, а также для научно-исследовательских и других производственных целей.

Баллоны должны храниться в вертикальном положении и быть надежно закреплены для предотвращения падения. Запорная арматура баллона должна быть закрыта защитным колпаком. Хранить в сухом, хорошо вентилируемом помещении, оснащенном принудительной приточно-вытяжной вентиляцией.

Упаковка

10-литровые баллоны из нержавеющей стали, соответствующие требованиям ТР ТС 032. Масса нетто 5 кг. Масса брутто 32,62 кг.

Транспортировка

Всеми видами транспорта, согласно действующим правилам перевозок опасных грузов.

Гарантийный срок хранения

12 месяцев с даты производства.