Тетрафторметан Siltron (Хладон R-14)
- Брендовое название
- Тетрафторметан Siltron
- Другие наименования
- Хладон R-14, тетрафторид углерода
- Химическая формула
- CF4
- № CAS
- 75-73-0
- Код ТН ВЭД
- 2903 39 900 0
- Номер баллона
- 24D363032
- Номер партии
- DJ2605-18-01
Продукция соответствует параметрам указанной ниже спецификации:
| Наименование показателей | Норма | Фактический показатель |
|---|---|---|
| Объемная доля тетрафторметана (CF₄), об. %, не менее | 99,9999 | 99,9999 |
| Объемная доля кислорода (O₂) + аргона (Ar), ppm, не более | 0,1 | < 0,01 |
| Объемная доля азота (N₄), ppm, не более | 0,1 | < 0,01 |
| Объемная доля монооксида углерода (CO), ppm, не более | 0,1 | < 0,05 |
| Объемная доля диоксида углерода (CO₂), ppm, не более | 0,2 | < 0,06 |
| Объемная доля других галогенированных соединений (C₂F₆, C₃F₈, CHF₃, CH₂F₂, CClF₃, C₂ClF₅), ppm, не более | 0,05 | < 0,01 |
| Объемная доля углеводородов (CH₄, C₂H₄, C₂H₂, C₂H₆), ppm, не более | 0,05 | < 0,01 |
| Объемная доля гексафторида серы (SF₆), ppm, не более | 0,1 | < 0,05 |
| Объемная доля воды (H₂O), ppm, не более | 0,1 | < 0,05 |
| Объемная доля фтороводорода (HF), ppm, не более | 0,1 | < 0,05 |
| Общее количество примесей, ppm, не более | 0,1 | < 0,05 |
Газ без цвета и запаха
Класс опасности при транспортировке 2.2, номер ООН 1982
Значение потенциала глобального потепления (ПГП) 5700
В микроэлектронике в качестве агента плазменного травления кремния и диэлектрических пленок, а также в качестве низкотемпературного хладагента и реагента для получения фторорганических соединений.
Баллоны должны храниться в вертикальном положении и быть надежно закреплены для предотвращения падения. Запорная арматура баллона должна быть закрыта защитным колпаком.
УпаковкаБаллоны из нержавеющей стали, соответствующие требованиям ТР ТС 032. Масса нетто 30 кг.
ТранспортировкаВсеми видами транспорта, согласно действующим правилам перевозок опасных грузов.
Гарантийный срок хранения36 месяцев с даты производства.