← Продукция

Моносилан Siltron 6.0N (99,9999%)

Брендовое название: Моносилан Siltron 6.0N (99,9999%)
Другие наименования: Силан, тетрагидрид кремния
Химическая формула: SiH4
№ CAS: 7803-62-5
Код ТН ВЭД: 2804690000
Объем баллона: 47 л
Номер партии: 24111501

Продукция соответствует параметрам указанной ниже спецификации:

Показатель	Норматив	Результат проверки
Объемная доля моносилана (SiH₄), %, не менее	99,9999	> 99,9999
Объемная доля водорода (H₂), ppm, не более	20	< 20
Объемная доля азота (N₂), ppm, не более	0,5	< 0,5
Объемная доля кислорода (O₂) + аргона (Ar), ppm, не более	0,05	< 0,05
Объемная доля монооксида углерода (CO), ppm, не более	0,05	< 0,05
Объемная доля диоксида углерода (CO₂), ppm, не более	0,05	< 0,05
Объемная доля метана (CH₄), ppm, не более	0,05	< 0,05
Объемная доля общих хлорсиланов, ppm, не более	0,1	< 0,1
Объемная доля дисилана (Si₂H₆), ppm, не более	0,3	< 0,3
Объемная доля углеводородов (сумма C₂–C₄), ppm, не более	0,1	< 0,1
Объемная доля воды (H₂O), ppm, не более	0,5	< 0,5

Бесцветный газ с едким, отталкивающим запахом

Класс опасности при транспортировке 2.1, номер ООН UN2203
В качестве прекурсора кремния для выращивания поликристаллического и эпитаксиального (монокристаллического) кремния, диоксида кремния, нитрида кремния и легирования арсенида галлия в микроэлектронике, фотонике и полупроводниковой промышленности, а также для научно-исследовательских и других производственных целей.

Баллоны должны храниться в вертикальном положении и быть надежно закреплены для предотвращения падения. Запорная арматура баллона должна быть закрыта защитным колпаком. Хранить в сухом, хорошо вентилируемом помещении, оснащенном принудительной приточно-вытяжной вентиляцией.

Упаковка

47-литровые баллоны из нержавеющей стали, соответствующие требованиям ТР ТС 032. Масса нетто 11 кг.

Транспортировка

Всеми видами транспорта, кроме воздушного, согласно действующим правилам перевозок опасных грузов.

Гарантийный срок хранения

12 месяцев с даты производства.