Трихлорсилан электронной чистоты
- Брендовое название
- ТРИХЛОРСИЛАН ЭЛЕКТРОННОЙ ЧИСТОТЫ
- Другие наименования
- Trichlorosilane, силикохлороформ
- Производитель
- ООО «Силтрон»
- Партия
- 22105
- Ёмкость
- 0037
- Химическая формула
- SiHCl3
- № CAS
- 10025-78-2
- Код ТН ВЭД
- 2853 00 80 00
Продукция соответствует параметрам указанной ниже спецификации:
| Показатель | Норматив | Норматив | Результат проверки |
|---|---|---|---|
| Содержание SiHCl₃, мин. | % | ≥ 99,99 | |
| Содержание монохлорсилана, макс. | ppm | ≤ 100 | |
| Содержание дихлорсилана, макс. | ppm | ≤ 100 | |
| Содержание тетрахлорсилана | SOP 0218 | ppm | ≤ 100 |
| Содержание акцепторов (B+Al) | ICPMS | ppba | ≤ 0,05 |
| Содержание доноров (P+As+Sb) | ICPMS | ppba | ≤ 0,20 |
| Содержание бора (B) | ICPMS | ppba | ≤ 0,06 |
| Содержание углерода (C) | ppma | Не определено (≤ 0,5) | |
| Содержание железа (Fe) | ICPMS | ppbw | ≤ 2,0 |
| Содержание меди (Cu) | ICPMS | ppbw | ≤ 2,0 |
| Содержание цинка (Zn) | ICPMS | ppbw | ≤ 2,0 |
| Содержание алюминия (Al) | ppba | ≤ 0,003 | |
| Содержание никеля (Ni) | ICPMS | ppbw | ≤ 2,0 |
| Содержание хрома (Cr) | ppbw | ≤ 2,0 | |
| Эпитаксиальное сопротивление, мин. | SEMI MF 43 | Ω·см | ≥ 1000 |
Трихлорсилан представляет собой бесцветную прозрачную горючую, высокотоксичную и коррозионную жидкость с резким удушливым запахом, дымящуюся на воздухе, плотность при 20°С 1,3417 г/см3, кипение при +31,8°С, давление пара при 20°C 0,7 бар. Бурно взаимодействует с водой с образованием хлористого водорода.
Классификация ООН: UN1295, класс опасности: 4.3, дополнительная опасность 3+8; группа упаковки I.
Продукция предназначена только для профессионального промышленного применения; может использоваться для производства поликристаллического кремния и эпитаксиальных кремниевых структур.
Контейнеры с трихлорсиланом должны храниться в сухом, хорошо вентилируемом помещении, оснащенном принудительной приточно-вытяжной вентиляцией.
Упаковка200-литровые ёмкости из нержавеющей стали с мембранными вентилями, максимально разрешенное рабочее давление 0.8 МПа (8 bar).
ТранспортировкаВсеми видами транспорта, согласно действующим правилам перевозок опасных грузов.
Гарантийный срок хранения12 месяцев с даты производства.