← Продукция
Ортофосфорная кислота Siltron (87%)
- Брендовое название
- Ортофосфорная кислота Siltron (87%)
- Другие наименования
- орто-Фосфорная кислота, фосфорная кислота
- Химическая формула
- H3PO4
- № CAS
- 7664-38-2
- Код ТН ВЭД
- 2809200000
Продукция соответствует параметрам указанной ниже спецификации:
| Наименование показателей | Норма | Фактический показатель |
|---|---|---|
| Массовая доля ортофосфорной кислоты (H₃PO₄), % | 87,0–87,5 | 87,2 |
| Массовая доля пентаоксида фосфора (P₂O₅), % | 62,9–63,4 | 63,2 |
| Плотность (при 20 °C), г/см³ | 0,01 | < 0,01 |
| Содержание алюминия (Al), ppb, не более | 1,711–1,717 | 1,174 |
| Цветность по Pt-Co шкале, не более | 10 | < 10 |
| Хлориды (Cl), ppb, не более | 1 | < 1 |
| Сульфаты (SO₄), ppb, не более | 3 | < 3 |
| Нитраты (NO₃), ppb, не более | 3 | < 3 |
| Фториды (F), ppb, не более | 0,1 | < 0,1 |
| Алюминий (Al), ppb, не более | 300 | < 300 |
| Кальций (Ca), ppb, не более | 3000 | < 3000 |
| Кадмий (Cd), ppb, не более | 200 | < 200 |
| Кобальт (Co), ppb, не более | 300 | < 300 |
| Хром (Cr), ppb, не более | 1000 | 38 |
| Медь (Cu), ppb, не более | 1000 | < 1000 |
| Железо (Fe), ppb, не более | 5000 | 877 |
| Калий (K), ppb, не более | 200 | < 200 |
| Магний (Mg), ppb, не более | 1000 | < 1000 |
| Марганец (Mn), ppb, не более | 1000 | < 1000 |
| Молибден (Mo), ppb, не более | 1000 | < 1000 |
| Натрий (Na), ppb, не более | 2000 | < 2000 |
| Никель (Ni), ppb, не более | 500 | 46 |
| Свинец (Pb), ppb, не более | 2000 | < 2000 |
| Сурьма (Sb), ppb, не более | 4000 | < 4000 |
| Кремний (Si), ppb, не более | 1000 | < 1000 |
| Стронций (Sr), ppb, не более | 200 | < 200 |
| Цинк (Zn), ppb, не более | 1000 | < 1000 |
| Мышьяк (As), ppb, не более | 500 | < 500 |
| Летучие кислоты (CH₃COOH), ppm, не более | 10 | < 10 |
| Вещества, восстанавливающие KMnO₄, ppm, не более | 30 | < 30 |
Бесцветная жидкость без запаха.
Класс опасности при транспортировке 8, номер ООН 1805
Для селективного жидкостного травления арсенида индия-галлия и нитрида кремния в микроэлектронной и полупроводниковой промышленности, а также для научно-исследовательских и других производственных целей.
Хранить в сухом, хорошо вентилируемом помещении, оснащенном принудительной приточно-вытяжной вентиляцией. Хранить плотно закрытым вдали от горючих материалов и источников возгорания.
