Описание продукции
Неорганическое соединение, хлоропроизводное моносилана, бесцветный газ самовоспламеняющийся на воздухе.
Внимание!
Бесцветный, взрыво-пожароопасный высокотоксичный газ с резким специфическим запахом. Класс опасности 2.3+2.1+8
Область применения
Используется в полупроводниковой промышленности для формирования вольфрамовых пленок методом химического осаждения из паровой фазы
| Брендовое название | SILTRON®SiН2CL2 (ДИХЛОРСИЛАН 6.0) |
| Другие наименования | Дигидриддхлорид кремния |
| Химическая формула | SiН2CL2 |
| № CAS | 4109-96-0 |
| Код ТН ВЭД | 282189 |
| Упаковка | 44-литровые баллоны из нержавеющей стали, соответствующие требованиям. Вес нетто 40 кг. |
| Транспортировка | Всеми видами транспорта, согласно действующим правилам перевозок опасных грузов |
| Гарантийный срок годности: | 12 месяцев с даты производства |
| ПОКАЗАТЕЛИ | ЕДИНИЦЫ ИЗМЕРЕНИЯ | СОДЕРЖАНИЕ |
| Чистота | % | 99.99 |
| Монохлорсилан (SiHЗСI) | % | < 0,001 |
| Трихлорсилан (SiHCIЗ) | % | < 0,001 |
| Тетрахлорсилан (SiCl4) | % | < 0,001 |
| Азот (N2) | ppmv | < 0,05 |
| Кислород+Аргон (О2+Ar) | ppmv | < 0,05 |
| Окись углерода (СО) | ppmv | < 0,05 |
| Углекислый газ (СО2) | ppmv | < 0,05 |
| тнс | ppmv | < 0,05 |
| Акцептор (B+AI) | ррbа | < 0,01 |
| Донор (P+As) | ррbа | 0.04 |
| Фе | ppmv | 1.1 |
| Ni | ppmv | < 0,1 |
| Кр | ppmv | < 0,1 |
| Нелегированный Reslstivity N | Ω.см | 1000 |